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微电子所两项研究工作入选2025年国际微波会议(IMS2025)

稿件来源:高频高压中心 常虎东 发布时间:2025-07-16

国际微波技术会(International Microwave Symposium,IMS)是由IEEE微波理论与技术学会(MTT-S)主办的全球规模最大、最具权威性的微波与射频领域学术会议。2025国际微波研讨会(International Microwave Symposium 2025)日前在美国旧金山圆满落幕,高频高压中心刘新宇研究员团队两项研究分别入选技术分会(Technical Session)和互动论坛(Interactive Forum)。

研究工作一聚焦于新型GeN介质材料的探索研究,开发了采用GeN作为栅介质的MIS-HEMT器件,成功解决了传统AlN/GaN结构中普遍存在的反向栅漏电及界面陷阱问题,所研制的器件在30 GHz下实现了3.9 W/mm的输出功率密度和33%的功率附加效率(PAE),为毫米波高功率GaN器件的发展提供了新思路。

研究工作二提出了基于栅区图形化沟道调控技术,有效提升了器件的阈值电压和输出性能。该器件具有0.41 V的正向阈值电压(VTH)和0.94A/mm的饱和电流密度(IDMAX),并在0.2µm栅长下实现了高达577.6 mS/mm的跨导(GmMAX)及138 GHz的功率增益截止频率(fMAX)。在18 GHz连续波条件下,器件表现出70%的高PAE和2.22 W/mm的输出功率密度,较现有增强型结构器件展现出优异性能,显示出其在低电压射频终端应用中的巨大潜力。

以上两项工作以“AlN/GaN MIS-HEMT with GeN Gate Dielectric for mm-Wave ApplicationsHigh Power-Added-Efficiency AlGaN/GaN E-Mode HEMTs for Low-Supply-Voltage RF Terminal Applications为题分别入选 Advanced Semiconductor Technologies、interactive forum方向,并应邀作口头报告及互动论坛展示。两篇论文的第一作者分别是博士生王建超、何晓强,通信作者魏珂正高级工程师、张昇副研究员、刘新宇研究员。

1 GeN栅介质AlN/GaN器件30G功率测试结果

2 高效率E-Mode器件18G功率测试结果

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