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通知公告

“JBX-6300FS系统升级改造技术服务”项目公示

稿件来源: 发布时间:2018-12-03

  一、项目名称 

  中国科学院微电子研究所 JBX-6300FS系统升级改造技术服务 

  二、单一来源采购理由说明 

  我所在研的“X射线衍射光谱与成像纳米器件集成制造”课题主要研究X射线衍射光谱与成像纳米器件集成制造。该课题需采用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术制作X射线衍射光谱与成像纳米器件。而电子束光刻和X射线光刻掩模则需要依赖中国科学院微电子研究所原有的大型JEOL JBX-6300FS电子束光刻系统,是必不可少的。但是,该大型电子束光刻系统的副扫描器仅为12.5MHz,且位置偏转数模放大器和控制中央处理器性能较差,不能满足该课题的需求,需要将其升级改造。 

  捷伊欧(JEOL)半导体贸易(上海)有限公司是我所JEOL JBX-6300FS电子束光刻系统生产厂商在中国的唯一国内代理商,因此只能采用单一来源方式采购。 

  三、该项目拟从捷伊欧(JEOL)半导体贸易(上海)有限公司进行采购。 

  四、征求意见期限从2018123日至2018127日止。 

  本项目公示期为2018123日至2018127日。有关单位和个人如对公示内容有异议,请在201812715:00(北京时间)之前以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式反馈至中国科学院微电子研究所,地址:北京朝阳区北土城西路3号,邮编:100029,联系电话:82995706 

  

                                                                                                                        中国科学院微电子研究所 

                                                                                                                              2018.12.3 

  
 

  
 

  
 

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