专利名称: 应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法
专利类别: 国际专利
申请号: PCT/CN2013/079515
申请日期: 2013-07-17
专利号: 9,260,297
第一发明人: 焦斌斌;刘瑞文;李志刚;孔延梅;陈大鹏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 9,260,297
专利摘要:
其它备注: 感知中心