专利名称: 半导体器件制造方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210067438.2
申请日期: 2012-03-14
专利号: 201210067438.2
第一发明人: 殷华湘;任哲;徐秋霞;陈大鹏
实施情况: 授权
专利证书号: 201210067438.2
其它备注: 十室