专利名称: 利用平行光测量衬底反射率和透射率的宽光谱光学量测系统
专利类别: 发明专利
申请号: 201210213835.6
申请日期: 2012-06-25
专利号: 201210213835.6
第一发明人: 王林梓;刘涛;李国光
实施情况: 授权
专利证书号: 201210213835.6
其它备注: 八室一组