| 专利名称: | 穿硅通孔结构及其形成方法 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110036024.9 |
| 申请日期: | 2011-02-11 |
| 专利号: | 201110036024.9 |
| 第一发明人: | 赵超;陈大鹏;欧文 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | 201110036024.9 |
| 其它备注: | 十室 |
| 专利名称: | 穿硅通孔结构及其形成方法 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110036024.9 |
| 申请日期: | 2011-02-11 |
| 专利号: | 201110036024.9 |
| 第一发明人: | 赵超;陈大鹏;欧文 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | 201110036024.9 |
| 其它备注: | 十室 |
科研产出