| 专利名称: | 后栅工艺移除多晶硅假栅制程的监控方法 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110149722.X |
| 申请日期: | 2011-06-03 |
| 专利号: | 201110149722.X |
| 第一发明人: | 杨涛;赵超;李俊峰;闫江;陈大鹏 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利名称: | 后栅工艺移除多晶硅假栅制程的监控方法 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110149722.X |
| 申请日期: | 2011-06-03 |
| 专利号: | 201110149722.X |
| 第一发明人: | 杨涛;赵超;李俊峰;闫江;陈大鹏 |
| 实施情况: | 授权 |
科研产出