专利名称: 确定铝金属栅芯片表面形貌的方法和系统
专利类别: 发明专利
申请号: 201210564162.9
申请日期: 2012-12-21
专利号: ZL201210564162.9
第一发明人: 徐勤志;陈岚
实施情况: 授权