专利名称: 半导体器件及其制造方法
专利类别: 国际专利
申请号: PCT/CN2011/001999
申请日期: 2011-11-30
专利号: US8846488
第一发明人: 范正萍
其它发明人: 梁擎擎;殷华湘;钟汇才;朱慧珑
实施情况: 授权
专利证书号: US8846488
其它备注: 中国科学院微电子研究所