专利名称: 一种加速CMP仿真的方法和装置
专利类别: 发明专利
申请号: 201110379986.4
申请日期: 2011-11-25
专利号: ZL201110379986.4
第一发明人: 阮文彪
其它发明人: 陈岚;阮文彪;吴玉平
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201110379986.4
其它备注: 中国科学院微电子研究所