| 专利名称: | 基于浅沟道隔离技术的化学机械研磨终点检测方法及系统 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110335135.X |
| 申请日期: | 2011-10-28 |
| 专利号: | ZL201110335135.X |
| 第一发明人: | 陈岚,徐勤志,李薇 |
| 其它发明人: | 徐勤志;陈岚;阮文彪;叶甜春 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | ZL201110335135.X |
| 其它备注: | 中国科学院微电子研究所 |
| 专利名称: | 基于浅沟道隔离技术的化学机械研磨终点检测方法及系统 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110335135.X |
| 申请日期: | 2011-10-28 |
| 专利号: | ZL201110335135.X |
| 第一发明人: | 陈岚,徐勤志,李薇 |
| 其它发明人: | 徐勤志;陈岚;阮文彪;叶甜春 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | ZL201110335135.X |
| 其它备注: | 中国科学院微电子研究所 |
科研产出