| 专利名称: | 等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | 201010255068.6 |
| 申请日期: | 2010-08-17 |
| 专利号: | 201010255068.6 |
| 第一发明人: | 汪明刚,刘杰,夏洋,李超波,陈瑶,赵丽莉,李勇滔 |
| 其它备注: | 八室一组 |
| 专利名称: | 等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | 201010255068.6 |
| 申请日期: | 2010-08-17 |
| 专利号: | 201010255068.6 |
| 第一发明人: | 汪明刚,刘杰,夏洋,李超波,陈瑶,赵丽莉,李勇滔 |
| 其它备注: | 八室一组 |
科研产出