| 专利名称: | 一种金属互连结构及其形成方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | 201010539400.1 |
| 申请日期: | 2010-11-08 |
| 专利号: | 201010539400.1 |
| 第一发明人: | 钟汇才、梁擎擎、骆志炯、朱慧珑 |
| 其它备注: | 十室 |
| 专利名称: | 一种金属互连结构及其形成方法 |
| 专利类别: | 发明 |
| 申请号: | 201010539400.1 |
| 申请日期: | 2010-11-08 |
| 专利号: | 201010539400.1 |
| 第一发明人: | 钟汇才、梁擎擎、骆志炯、朱慧珑 |
| 其它备注: | 十室 |
科研产出