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专利名称: 掺氮二氧化钛薄膜的制备方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201110421550.7
申请日期: 2011-12-15
第一发明人: 万军,赵柯杰,黄成强,饶志鹏,陈波,李超波,夏洋,吕树玲,石莎莉
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