一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置
专利类别:	发明专利
申请号:	201110283462.5
申请日期:	2011-09-22
专利号:
第一发明人:	陈鲁
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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