| 专利名称: | 用于双腔式结构等离子体浸没离子注入的隔板装置 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 201020250591.5 |
| 申请日期: | 2010-07-07 |
| 专利号: | 201020250591.5 |
| 第一发明人: | 刘杰 汪明刚 夏洋 李超波 罗威 罗晓晨 李勇滔 |
| 专利名称: | 用于双腔式结构等离子体浸没离子注入的隔板装置 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 201020250591.5 |
| 申请日期: | 2010-07-07 |
| 专利号: | 201020250591.5 |
| 第一发明人: | 刘杰 汪明刚 夏洋 李超波 罗威 罗晓晨 李勇滔 |
科研产出