| 专利名称: | 新型微尖端面阵列器件 |
| 申请号: | 200510012172.1 |
| 申请日期: | 2005-07-14 |
| 专利号: | CN1897170 |
| 第一发明人: | 焦斌斌 陈大鹏 欧 毅 叶甜春 |
| 专利摘要: | 本发明涉及扫描隧道显微镜技术领域，特别是一种新型微尖端面阵 列器件。由夹持框架(1)、支撑膜(2)、悬臂梁(3)微尖端(7)四个 部分组成。夹持框架(1)用于夹持整个器件使之与外部系统结合并为整 个器件结构提供保护；支撑膜(2)用于支撑悬臂梁结构与导线(4)和 内焊盘(5)；悬臂梁(3)单元采用顺序平铺的方式构成平面阵列；微尖 端(6)由金属电镀生成。 |
科研产出