| 论文编号: | 1725110120140064 |
| 第一作者所在部门: | 研究生4,八室一组 |
| 论文题目: | Microwave annealing effects on the ZnO films deposited by Atomic Layer Deposition |
| 作者: | 赵士瑞 |
| 刊物名称: | 半导体学报 |
| 年: | 2014 |
| 卷: | 35 |
| 期: | 11 |
| 页: | 1 |
| 联系作者: | 赵士瑞 |
| 影响因子: | 0.2723 |
| 论文编号: | 1725110120140064 |
| 第一作者所在部门: | 研究生4,八室一组 |
| 论文题目: | Microwave annealing effects on the ZnO films deposited by Atomic Layer Deposition |
| 作者: | 赵士瑞 |
| 刊物名称: | 半导体学报 |
| 年: | 2014 |
| 卷: | 35 |
| 期: | 11 |
| 页: | 1 |
| 联系作者: | 赵士瑞 |
| 影响因子: | 0.2723 |
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