| 论文编号: | 1725110120140266 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | Innovatively composite hard mask to feature sub-30nm gate patterning |
| 作者: | 孟令款 |
| 刊物名称: | Microelectronic Engineering |
| 年: | 2014 |
| 卷: | 127 |
| 期: | 5 |
| 页: | 7 |
| 联系作者: | 孟令款 |
| 影响因子: | 1.338 |
| 论文编号: | 1725110120140266 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | Innovatively composite hard mask to feature sub-30nm gate patterning |
| 作者: | 孟令款 |
| 刊物名称: | Microelectronic Engineering |
| 年: | 2014 |
| 卷: | 127 |
| 期: | 5 |
| 页: | 7 |
| 联系作者: | 孟令款 |
| 影响因子: | 1.338 |
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