| 论文编号: | 1725110120140296 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | Line roughness formation during plasma etch：mechanism and reduction |
| 作者: | 孟令款 |
| 刊物名称: | Proc. of SPIE |
| 年: | 2014 |
| 期: | 9054 |
| 页: | 90540D |
| 联系作者: | 孟令款 |
| 影响因子: | 0.5 |
| 论文编号: | 1725110120140296 |
| 第一作者所在部门: | 十室一组 |
| 论文题目: | Line roughness formation during plasma etch：mechanism and reduction |
| 作者: | 孟令款 |
| 刊物名称: | Proc. of SPIE |
| 年: | 2014 |
| 期: | 9054 |
| 页: | 90540D |
| 联系作者: | 孟令款 |
| 影响因子: | 0.5 |
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