2023年年鉴

    中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所”）成立于1958年，是我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。 

微电子所前身为原中国科学院109厂。1986年，109厂与中国科学院半导体研究所、计算技术研究所有关研制大规模集成电路部分合并为中国科学院微电子中心。2003年9月，正式更名为中国科学院微电子研究所。 

　　微电子所以“满足国家战略需求、引领科技创新前沿、支撑产业升级发展”为使命定位，发挥集成电路学科建制化优势，开展先导工艺、存储器及系统芯片、关键核心芯片、装备及核心技术等方向的基础性、战略性和前瞻性研究，以关键工艺与核心器件研究为主要特色，应用基础研究、产业共性技术研发与工程应用深度融合，成为不可替代的国家战略科技力量。在半导体器件与集成电路制造、集成电路设计与应用、集成电路装备等领域展开科研工作，具备从原理器件、集成工艺、制造装备到核心芯片开发的全链条、体系化科技创新与关键核心技术攻关能力。现设有13个研发单元， 5个半导体器件与集成电路制造研发单元（抗辐照器件技术重点实验室、微电子器件与集成技术重点实验室、高频高压器件与集成研发中心、集成电路先导技术研发中心、系统封装与集成研发中心），3个集成电路装备研发单元（微电子仪器设备研发中心、光电技术研发中心、光刻技术总体部），5个集成电路设计与应用研发单元（智能感知研发中心、健康电子研发中心、通信与信息工程研发中心、智能制造电子研发中心、EDA中心）。

截至2022年底，微电子所共有在职职工1054人。其中科技人员626人、科技支撑人员256人，包括中国科学院院士2人、发展中国家科学院院士1人、国际欧亚科学院院士2人、研究员及正高级工程技术人员159人、副研究员及高级工程技术人员355人。

微电子所是国务院学位委员会批准的博士学位（1996年5月获批）、硕士学位（1990年11月获批）授予权单位之一，现设有集成电路科学与工程、电子科学与技术、光学工程三个一级学科，及“电子信息”专业学位类别学位授权点。其中电子科学与技术下设“微电子学与固体电子学”（2011年获批中国科学院重点学科）、“电路与系统”两个二级学科；设有硕士、博士研究生培养点和“电子科学与技术”一级学科博士后流动站。截至2022年底，共有在学研究生1688名，其中微电子所1115名，集成电路学院453名，联合培养研究生120名。

2022年，微电子所共有在研项目574项（包括新增项目173项）。包括，主持（或承担）国家重点研发计划、国家自然科学基金、先导专项（A类、B类、C类）、弘光专项等国家重大科技项目。

2022年，研究所“十四五”规划院评议结果位列信息领域前列；“集成电路制造技术全国重点实验室”获得批准建设。主要科研方向年度重要工作进展与成果如下：1、面向大规模神经网络计算应用，国际首次提出了基于三维阻变存储器的存算一体芯片架构，实测能效达到8.32 TOPS/W，成果发表于国际顶级刊物《Nature Electronics》（2022第7期）。2、GAA是5纳米以下集成电路制造关键技术。所提出的GAA器件高k/金属栅功函数调控技术，在阈值调控幅度和数量方面达到当前世界最好水平，入选本领域的国际顶级学术会议IEDM 2022；基于垂直GAA器件的3D NOR闪存制造技术在武汉新芯开展商业转化；累计申请GAA技术专利232项，位居国际科研与教育机构前列。3、在国内首次完成分米级FCBGA基板制造，应用于华为海思等企业；PSD器件灵敏度等指标国际领先，国内首次研制出超大靶面波前探测器，并实现应用。4、突破了高性能ADC/DAC的关键核心技术，形成采样500Msps~40Gsps，精度为6bit~14bit的40多款系列产品，整体技术国内领先、国际先进，缓解了国家在该领域“卡脖子”问题。5、针对重大装备在空间位置、姿态测量等的难题，突破了高精度激光组合测距（0.5ppm）、自适应精密跟踪（4m/s）、高精度姿态测量（0.03°）及全系统精度提升（15μm+6ppm）等关键技术，整机性能达到国际先进水平。6、基于自主开发的CSOI成套工艺研制超强抗辐照SRAM存储器芯片，抗瞬时剂量率优于5×10¹¹ rad(Si)/s，抗总剂量大于9 Mrad(Si)，已实现应用。7、高端集成电路工艺装备核心部件“真空规”主要技术指标达到用产要求。8、系列传感器芯片与模组随深海4500级垂直定域潜航器完成了搭载试验。9、垂直环形沟道（CAA）结构DRAM晶体管关键尺寸微缩至50nm，并进行了器件可靠性验证，入选全球半导体行业重要会议VLSI 2022亮点论文。

2022年，微电子所获省部级及社会力量奖项9项。其中，“紧凑型数字电容式MEMS三轴一体加速度传感器关键技术及产业化”获中国仪器仪表学会科技进步一等奖，“集成电路14纳米FinFET制造技术创新及应用”获中国科学院科技促进发展奖，“GaN基异质结功率器件表界面态机理与调控”获中国电子学会自然科学奖二等奖等。2022年发表论文595篇，其中SCI论文395篇、EI论文85篇，总影响因子1846.12，申请专利623件，专利授权377件，登记软件著作权14项。

2022年，微电子所根据科学院总体安排，对投资参股的企业进行分类清理，截止2022年年底，微电子所共持有56家企业股权，其中包括北方华创（002371）、中科微至（688211）两家上市公司和多家“专精特新”公司，高质量公司在所持股企业中的比重越来越高。2022年，推动地方共建合作平台转型，逐步构建起符合院地合作新三原则的地方合作平台体系。

持续加强开放合作，拓展国际合作新渠道。2022年微电子所邀请20余名外国专家在线进行技术交流，所内职工70余人在线参加各类国际会议。作为中科院曼谷创新合作中心理事单位，积极参与中泰东盟创新港展示项目，助推研究所先进适用技术及成果落地泰国。成功组织了第六届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）和第23届封装技术国际会议。

微电子所是中国集成电路创新联盟秘书处、中国集成电路检测与测试创新联盟秘书处、示范性微电子学院产学融合发展联盟秘书处、全国半导体设备与材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会秘书处。