所况介绍
中国科学院微电子研究所（以下简称“微电子所” ）成立于1958年，是我国微电子科学技术与集成电路领域的重要研发机构。微电子所是国务院学位委员会批准的博士、硕士学位授予权单位之一，是中国科学院大学集成电路学院主承办单位，现设有集成电路科学与工程、电子科学...
所长、党委书记：戴博伟 党委副书记、纪委书记：谢光锋 副所长：曹立强 副所长：李泠 副所长：罗军
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科学普及
成果转化与产业化
信息公开
EUV光刻共性技术、集成电路制造在线检测技术、深紫外准分子光源技术、智能制造精密测量技术、新型激光雷达技术、新型集成光电装备技术等。
光电技术研发中心