MEMS器件及系统中心隶属于中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心，是CMOS-MEMS兼容的微纳加工、检测与代工服务于一体的多功能加工平台。主要为客户提供MEMS工艺开发、测试分析、设计及结构验证、MEMS器件代工制造、封装与测试等服务。该中心可与研究所、高校和企业全方位对接，为科研服务，同时兼顾企业需求，为企业提供技术支撑与代工服务。对外开放共享是研究所公共支撑体系建设的目标之一，对提高科研水平、开展技术交流、促进学科交叉、吸引高层次人才、加强与企业的合作交流都有重要的作用。