近期,由微电子所、国科大微电子学院联合创办的国际全英文学术期刊《Journal of Microelectronic Manufacturing》(JoMM,国际标准期刊编号ISSN:2578-3769)成功创刊并于9月30日发行创刊号,标志着微电子所在集成电路制造领域国际化学术交流平台建设方面取得突破性进展。
近年来,全球尤其是中国集成电路产业制造技术迅猛发展,同步建设相关学术交流平台的需求日益迫切。目前,国内尚缺乏在此领域的国际化学术期刊。为加强集成电路制造领域的国内外学术交流、促进技术发展,微电子所、国科大微电子学院在2018年初创办了JoMM,并邀请众多来自国内外先进集成电路制造商、供应商、大学等研究机构的知名研究人员组成编辑委员会。JoMM旨在发表集成电路制造领域中从实验室理论阶段到工业大规模量产阶段的研究成果,内容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment等方面。
创刊以来,期刊的基础建设、宣传、邀稿等工作取得了显著的进展,并在期刊网站(www.lithotechsolutions.org)出版了第一期,目前第二期也在征稿和筹备中。未来,期刊将重点提升出版标准、编辑内容、国际化程度、引用数量等四方面的工作,逐步实现ESCI、EI、SCI等国际著名检索系统的收录,最终建成集成电路制造领域内具有国际影响力的高质量学术期刊。

JoMM创刊号封面

JoMM第二期征稿海报
综合信息