关于先导中心单一来源采购电子束曝光机年度维保项目征求意见公示

根据《中国科学院事业单位变更政府采购方式审批管理办法》和《微电子研究所委托服务管理办法》的要求，为了进一步规范公开招标数额标准以下的服务选择单一来源采购流程，现将拟开展的委托服务采购予以公示。

一、委托服务项目名称、预算、采购方式

二、委托服务项目内容

三、单一来源理由

中国科学院微电子研究所承担集成电路制造前沿技术的研究项目，电子束曝光机在研究中负责关键层次的图形化，是前沿性关键技术前期探索的关键设备，具有不可替代性。

先导中心电子束曝光机共两台，于2011年11月30日采购于英国Nano Beam Limited（NBL）。设备状况如下：

设备型号为NB4（资产编号 K02-128）的电子束曝光机到货于2012年7月1日，于2015年10月19日过质保期。设备型号为NB5（资产编号K02-189 ）的电子束曝光机到货于2013年9月2日，于2017年3月14日过质保期。

电子束曝光机属于高精密设备，需定期进行专业维护才能正常运行。电子束曝光机所需要的维护项目包括：

1. 工件台维护

2. 服务器升级

3. 电子枪维护

4. 故障维修

5. 故障部件更换，包含工件台、真空泵、电子枪电源单元、ZYGO激光头及其它机械和电子部件

目前这两台设备的维保期到2025年11月，两台设备分别应用于该课题的前道非金属工艺以及后道金属工艺，因此两台设备均需使用。为保障院课题的顺利推进，需要保障电子束曝光机的正常运行。为保证维保质量，本次拟选择原生产厂家英国NBL公司对设备进行维护，因此申请采用单一来源采购。

四、拟定的唯一供应商（服务商及相关代理）名称、地址

供应商名称：Nano Beam Limited

地址：Unit 4 College Business Park, Coldhams Lane

CAMBRIDGE CB1 3HD United Kingdom

五、公示期限及联系方式

公示时间为2026年7月28日至2026年8月3日，任何单位及个人对公示内容有异议，请于2026年8月3日17时前，以电话、信函等方式向资产管理处反映，资产管理处将按相关规定进行处理。

联系人：石宇

联系电话：010-82995524

邮箱：shiyu@ime.ac.cn

                  资产管理处

                   2026年7月28日