Experimental investigation on oxidation kinetics of germanium by ozone--中国科学院微电子研究所

科研产出

当前位置首页科研工作科研产出论文

论文编号:	1725110120160216
第一作者所在部门:
论文题目:	Experimental investigation on oxidation kinetics of germanium by ozone
论文题目英文:
作者:	王晓磊
论文出处:
刊物名称:	Applied Surface Science
年:	2016
卷:
期:	390
页:	472
联系作者:	王文武
收录类别:
影响因子:
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注: