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论文编号: 1725110120140280
第一作者所在部门: 十室一组
论文题目: 先导光刻中的光学邻近效应修正
论文题目英文:
作者: 韦亚一
论文出处:
刊物名称: 中文核心
年: 2014
卷: 51
期: 3
页: 186
联系作者: 韦亚一
收录类别:
影响因子: 0
摘要:
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外单位作者单位:
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