无--中国科学院微电子研究所

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论文编号:	172511O120120111
第一作者所在部门:	十室一组
论文题目:	无
论文题目英文:
作者:	周华杰
论文出处:
刊物名称:	Microelectronics Engineering
年:	2012
卷:
期:	94
页:	26
联系作者:	周华杰
收录类别:
影响因子:	0
摘要:
英文摘要:
外单位作者单位:
备注:	SCI收录