2026年3月23日，恩师吴德馨院士永远的离开了我们。她的离去，让我悲痛万分，但她的精神如指路明灯，永远镌刻在我心中，激励着我砥砺前行。

吴老师平易近人的人格魅力感动了我，追随她投身国家的微电子事业。1997年10月，我在771所研究SOI BiCMOS 器件技术。彼时，微电子所拥有国内独一无二的快速退火炉，是攻克双极器件多晶硅发射极退火推进工艺的关键，怀揣着对技术突破的渴望，我毅然奔赴北京寻求合作。在微电子所主楼一楼会议室，我向一室的海潮和老师、陈焕章老师汇报工作、阐述合作诉求，现场讨论热烈而专注。就在这时，一位身着得体、气质温婉优雅的女研究员轻轻走进来，静静坐在会议桌角落，全程认真聆听。当谈及长期困扰我的技术难题——浅推进重掺杂导致仿真与实验不符、器件增益不足时，她提出：采用多晶硅发射极原位掺杂，或许能从根本上解决问题。年轻气盛的我当即反驳，直言国内尚无原位多晶硅的实现条件。可吴老师只是温和一笑，目光坚定又从容：“我们可以自研或者改造工艺设备，一起试着攻克它！”那一刻，她渊博深厚的学识、从容自信的气度，瞬间折服了年少自负的我。会后，海潮和老师笑着拍我的肩膀：“小伙子不错，敢和吴院士直面探讨科学问题！”这次相遇，吴老师和蔼可亲、平易近人的模样，如一束光，坚定了我报考微电子所、追随她攻读博士、为国家微电子事业拼搏的决心。

吴老师敢于信任年轻人，支持他们攻坚克难。1998年3月，我如愿成为吴老师的首位博士研究生。她紧扣国家任务需求，结合我的专业特长，安排我牵头抗辐照 SOI 64K SRAM 技术攻关，这是一项涵盖工艺、器件、机理、电路全链条的自主研发任务，工作量巨大，更需多团队协同攻坚。她悉心为我搭建协作平台，安排我到第一研究室开展工艺开发，协调课题组刘宏民、郑英奎和二室叶青副研究员协同电路设计，特邀半导体所刘忠立研究员指导抗辐照工艺实验。尽管吴老师事务繁重、日夜操劳，却始终全程参与每次组会，对我的研究细致指导、耐心解惑。侧墙刻蚀控制、硼磷硅二次布线、ESD 结构优化…… 每一个关键环节，都倾注着她的心血与指引。在她的全力支持下，我们历经两年协同奋战，成功突破 0.8- 1.2um 部分耗尽 SOI CMOS 工艺，研制出 SOI SRAM 样片，每一步突破，都离不开她的领航托举。

吴老师严谨治学的风范，是我科研路上永不褪色的标杆。在我读博士期间，每当研究遭遇挫折、陷入困境，她从不苛责，总是循循善诱、鼓劲加油，帮我拨开迷雾、重拾信心；撰写学术文章时，她逐字逐句推敲修改，严谨到分毫；博士论文审阅阶段，她敏锐指出我在部分耗尽效应机理、器件模型研究上的不足，叮嘱我再深耕打磨。起初，我满心困惑与抵触，论文的工作量与研究水平早已达标毕业要求，何必再苛求？吴老师看穿了我的心思，语重心长地开导：“科研的核心是体系的完整，博士的价值，在于机理机制上的突破，唯有如此，才能练就真正属于自己的科研能力。” 这番教诲，如醍醐灌顶，让我终身受益。

吴老师心中始终装着国家需求与研究所发展。当年她敏锐洞察到化合物半导体器件与集成电路对国家战略的重要意义，多次向国家建言，推动我国化合物半导体科学研究与产业发展。在中国科学院的支持下，她牵头开辟微电子所化合物半导体器件与集成电路研究方向，为微电子所四室的成立筑牢根基，使微电子所成为国内最早开展化合物半导体集成技术研究的科研机构之一。当前我国GaN、SiC等化合物半导体集成电路相关产业的蓬勃发展,没有被国外卡脖子，也验证了她当时的远见卓识。

对青年后辈的科研和生活，她都倾尽心力、关怀备至。科研路上，她为我们指明方向；项目申报，她悉心指导、倾囊相授；即便退休，她始终默默为所里青年科研人员在科研和生活中排忧解难；可对自己，却从不麻烦他人，凡事亲力亲为、独立担当。

她退休后，我常去探望恩师，每次相见，她不说自身琐事，句句都关切着所里的发展：有那些最新的科研进展、有哪些重大成果突破、又申请了什么重大项目等等。吴先生临终还特意嘱托儿子“不要麻烦所里，希望微电子所越来越好。”那份对研究所的殷殷牵挂、拳拳初心，深深烙印在每一句话语里。

吴老师走了，但她的音容笑貌仿佛仍在眼前，她的嘱托和她的期盼还在心里回荡。我们深切缅怀吴老师，缅怀她为我国微电子事业鞠躬尽瘁、不懈奋斗的光辉一生。她用一生践行初心，诠释了科学家的坚守与科研导师的真谛，教会我们做人的品格、做事的担当。在她的引领下，我们带着她的期盼和嘱托，勇于扛起使命和担当，为国家发展、民族复兴的中国梦，为国家的微电子事业，倾尽毕生力量！

恩师西去，精神永存！

您的学生：刘新宇

2026年3月26日