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  • 姓名: 韩晓泉
  • 性别: 男
  • 职称: 正高级工程师
  • 职务: 
  • 学历: 博士
  • 电话: 
  • 传真: 
  • 电子邮件: hanxiaoquan@ime.ac.cn
  • 所属部门: 光电研发中心
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景:

    2000.92005.4 中国科学院长春光机所 机械制造及其自动化专业, 工学博士 

    1996.92000.7  四川大学       工业自动化专业      工学学士 

    工作简历: 

    2005.042008.11 中科院光电研究院 助研 

    2008.122018.10 中科院光电研究院  副研 

    2018.112019.03 中科院微电子所   副研 

    2019.04至今,      中科院微电子所   正高工 

    社会任职:

  • 国家知识产权局学术委员会,中国专利审查技术专家 

    财政部政府采购评审专家

    研究方向:

  • 光电测量、精密控制

    承担科研项目情况:

  • 1. 248nm KrF光刻机曝光光源开发(负责人,重大专项/3600) 

    2. 40W 4KHz ArF曝光光源产品开发(主要成员,重大专项/11957) 

    3. 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设(主要成员,重大专项/34866.67)

    代表论著:

  • 1. Image Acquisition and Motion positioning system Design Based on the Projection Lens Wavefront Aberration Measurement2017SPIE Advanced Lithography 

    2. A design of energy detector for ArF excimer lasers2017SPIE, 

    3. 准分子激光器温度控制系统设计,量子电子学报,2015.

    专利申请:

  • 1. 基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统 

    2. 一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法 

    3. 一种准分子激光器能量探测器的能量值标定系统及方法 

    4. 一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法 

    5.基于原子吸收的FP波长计温漂校准装置和方法

    获奖及荣誉:

  • 2009北京市科学技术奖一等奖/排名10 

    2010上海世博会科技攻关成果特别奖/排名第3 

    2017中科院北京分院成果转化特等奖/排名第9