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  • 姓名: 宗明成
  • 性别: 男
  • 职称: 研究员
  • 职务: 
  • 学历: 博士
  • 电话: 010-82995870
  • 传真: 
  • 电子邮件: zongmingcheng@ime.ac.cn
  • 所属部门: 光刻技术总体部
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景

    1989年毕业于清华大学物理系,获理学(光学)博士学位  

    1986年毕业于东南大学电子工程系,获工学硕士学位  

    1983年毕业于东南大学电子工程系,获工学学士学位 

    工作简历 

    2011.04 –至今:中国科学院微电子研究所副总工、研究员、博士生导师,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”总体组特聘专家。 

    2009.05 2011.03:荷兰皇家飞利浦照明研发中心(中国)总监。  

    2000.01 2009.05:荷兰ASML光刻机公司研发经理、高级工程师。  

    1999.02 1999.12:荷兰国家原子分子研究所 (AMOLF)研究员。  

    1998.02 1999.01:荷兰代尔夫特(Delft)技术大学研究员。  

    1990.01 1998.01:北京交通大学教授,系主任等。 

    社会任职:

    研究方向:

  • 先进光刻技术、光学工程、精密检测技术

    承担科研项目情况:

  • 作为课题负责人或首席科学家先后承担5项国家科技重大专项研究任务。

    代表论著:

  • 发表约30篇学术论文。

    专利申请:

  • 中国、美国发明专利约20项。

    获奖及荣誉: