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  • 姓名: 陈进新
  • 性别: 男
  • 职称: 高级工程师
  • 职务: 
  • 学历: 博士
  • 电话: 010-82995871
  • 传真: 
  • 电子邮件: chenjinxin@ime.ac.cn
  • 所属部门: 光刻技术总体部
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景:

    2000.9-2004.7北京航空航天大学,飞行器设计与工程专业,本科 

    2005.9-2008.7中国科学院研究生院(中科院光电研究院),飞行器设计专业,硕士研究生 

    2010.9-2015.7 中国科学院大学(中科院光电研究院),计算机应用技术专业,博士研究生 

    工作背景: 

    2008.7-2010.9 中国科学院光电研究院空间工程部, 从事空间载荷主动隔振相关领域工作,助理工程师。 

    2010.9-2018.11中国科学院光电研究院光电工程部,从事深紫外光刻准分子激光光源、极紫外光刻辐照系统和动态气体锁等相关领域工作。2010.10聘为工程师,2015.12聘为高级工程师。 

    2017.7-2018.8 美国SLAC国家加速器实验室,从事自由电子激光器技术及其应用相关研究,访问学者。 

    2018.11至今 中国科学院微电子研究所,从事极紫外光刻真空及测控相关领域工作,高级工程师。 

    社会任职:

    研究方向:

  • 极紫外光刻真空、精密系统机械设计

    承担科研项目情况:

  • 作为技术骨干先后承担国家科技重大专项(02专项)多项研发任务。

    代表论著:

  • 发表论文10余篇,其中第一作者9篇。 

    [1]陈进新,王宇,谢婉露. 极紫外光刻动态气体锁抑制率实验研究[J].光学学报. 2017, Vol.37, No.2, 0222002. 

    [2] Jinxin Chen, Wanlu Xie, Xiaobin Wu, Yu Wang. 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum[C]. 3rd Annual International Conference on Mechanics and Mechanical Engineering, 2016. 

    [3] 陈进新,王宇,谢婉露. 极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究[J]. 激光与光电子学进展. 2016, Vol.53, No.5, 053401. 

    [4] 陈进新,王魁波,王宇. 极紫外真空动态气体锁流场分析与研究[J]. 真空科学与技术学报. 2015, Vol.35, No.8, 940-946. 

    [5] 陈进新,徐向宇,王宇. ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究[J]. 激光与光电子学进展. 2014, Vol.51, No.1, 011402.

    专利申请:

  • 授权国内发明专利32项,其中第一发明人12项;授权实用新型专利40项,其中第一发明人11项。 

    [1]一种动态气体锁的试验装置和试验方法,发明,专利号:ZL 201610390695 

    [2]极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法,发明,专利号:ZL 201510076613 

    [3]一种极紫外反射镜片的四维装调装置,发明,专利号:ZL 201410545200 

    [4]一种螺旋气流动态气体锁,发明,专利号: ZL 201310343253 

    [5]一种新型气体放电腔,发明,专利号: ZL 201210337140

    获奖及荣誉: