获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 1982年
获奖名称: KHA-75型半自动接近接触式光刻机
主要完成人: 中国科学院109厂
完成单位: 中国科学院109厂
成果介绍:
获奖类别: 1982年第一机械工业部科技工作一等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人: