获奖题目:
获奖编号:
获奖时间: 2001年
获奖名称: 0.1μmGaAsHFET器件及深亚微米加工技术
主要完成人: 微电子中心
完成单位: 微电子中心
成果介绍:
获奖类别: 2001年科学技术部“九五”攻关优秀成果奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人: