姓 名: 陈大鹏

　　性 别: 男

　　职 称: 研究员

　　学 历: 博士

　　电子邮件: dpchen@ime.ac.cn

　　所属部门：集成电路先导工艺研发中心

　　研究方向：微细加工技术

　　学科类别：核技术及应用

　　获奖及荣誉：2003年“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”获北京市科技进步一等奖

　　承担科研项目情况：

　　(1)“九五”国家重点科技攻关项目97－762“0.1-0.35微米集成电路关键技术研究”的子专题97－762－03 “先进的深亚微米工艺技术”；

　　(2)科学院重大创新方向性项目“电子束缩小投影光刻机（SCALPEL）”的子课题“投影电子束掩模研制”；

　　(3)科技部863项目“多传感器及阵列传感器集成”；

　　(4)科技部863项目“无掩模光刻系统”；

　　(5)科技部863项目；

　　(6)自然基金仪器专项“新型光学读出非制冷红外成像系统”；

　　(7)自然基金“悬臂梁微尖端阵列器件加工及应用技术研究”；

　　(8)中科院知识创新方向性项目。