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第一届领导班子及组织机构（2003年～2005年）
隶属单位：中国科学院
所 长：钱 鹤
党委书记：谭福安
副书记：叶甜春（兼纪委书记）
副所长：叶甜春、黄晓兰、谭福安（兼）
下设机构：所（党委）办公室、科技处、人事教育处、质量采购处、财务处、硅器件与集成技术研究室、集成电路设计研究室、微细加工及纳米技术研究室、化合物半导体器件研究室、通信与多媒体SOC研究室、前工艺线、后工艺线、动力运行站
第二届领导班子及组织机构（2005年至今）
隶属单位：中国科学院
所 长：钱 鹤（2005年6月～2006年6月）、叶甜春（2007年7月至今）
党委书记：谭福安（2005年10月～2006年4月）、李培金（2006年4月至今）
副书记：叶甜春（2005年10月～2006年7月）
副所长：叶甜春（2005年6月～2007年7月）、谭福安（兼）（2005年6月～2006年4月）、周玉梅（2006年8月至今）、李培金（兼）（2006年至今）
下设机构：所办公室、党委办公室&信息中心、科技处、人事教育处、财务处、资产管理处、硅器件与集成技术研究室（一室）、专用集成电路与系统研究室（二室）、微细加工与纳米技术研究室（三室）、微波器件与集成电路研究室（四室）、通信与多媒体SOC研究室（五室）、电子系统总体技术研究室（六室）、电子设计平台与共性技术研究室（七室）、微电子设备技术研究室（八室） | 
