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专利名称 专利类别 专利号 申请日期 发明人 专利授权日期
一种采用超临界水去除光刻胶的系统 实用新型 2010-03-05 王磊, 景玉鹏   2010-10-27
一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统 实用新型 2010-03-05 王磊,景玉鹏   2010-12-15
金属层平坦化系统 发明 2009-12-31 王磊,景玉鹏   2010-11-17
一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统 实用新型 2009-12-30 王磊, 惠瑜, 高超群, 景玉鹏   2010-11-17
一种组合等离子体放电装置 实用新型 2009-10-28 张朝前, 杨景华, 赵玲利, 王守国   2010-06-23
一种组合等离子体放电装置 CN201515547U 2009-10-28 张朝前 杨景华 赵玲利 王守国   
低温无损伤深斜硅刻蚀系统 发明 2009-10-27 王磊,景玉鹏   2010-09-15
超临界二氧化碳涂胶系统 发明 2009-10-27 王磊,景玉鹏   2010-09-01
高速无等离子体硅刻蚀系统 发明 2009-10-27 景玉鹏,王磊   2010-09-01
放电设备 CN101668378 2009-10-23 杨景华 张超前 赵玲利 王守国   
放电设备 发明 2009-10-23 杨景华,张超前,赵玲利,王守国   2010-07-07
放电设备 CN201522986U 2009-10-23 杨景华 张超前 赵玲利 王守国   
等离子体放电与雾化接枝装置 实用新型 2009-10-21 赵玲利, 杨景华, 张超前, 王守国   2010-06-30
等离子体放电与雾化接枝装置 CN201518309U 2009-10-21 赵玲利 杨景华 张超前 王守国   
一种光电位移传感器及其制备方法 CN101672624 2009-10-16 吴茹菲 洪何清   
利用移动通信网络获取道路信息的方法和系统 CN101674523 2009-10-15 卢小冬 张海英   
一种基于阻变存储器的一次编程存储器及其制备方法 CN101667460 2009-10-12 刘明 左青云 龙世兵   
带硅支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列 CN201561801U 2009-09-28 焦斌斌 陈大鹏 欧毅 叶甜春   
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