为了加强技术支撑系统建设，有力保障“知识创新工程”的顺利实施，推进我所“创新跨越、持续发展”。根据中科院《关于2009年度所级公共技术服务中心建设工作的通知》（计字[2009]20号）的文件精神，筹建了中国科学院微电子所公共技术服务中心。

　　中科院微电子所级公共技术服务中心从2009年6月成立初始，就成立了专门的管理部门，挂靠在微电子所科技处，设置专职管理人员一名。同时在所层面设立管理委员会，管理委员会成员由所领导、研究室负责人和机关管理部门负责人组成。具体见下图的组织构图：

　　目前，微电子所共开放各类大型设备共计104台，价值共计89064026.58元，都是一些高精度的测试设备，且每台设备都配有相应的技术支撑人员进行操作和维护，这些设备现已全部对外开放提供服务，欢迎所内外的用户通过中国科学院仪器共享管理系统（http://caslims.issas.ac.cn）进行预约和使用。